如果有机物含有卤素等其它元素，则氧化产物还有卤化氢等。废气首先通过蓄热体加热到接近热氧化温度，而后进入燃烧室进行热氧化，氧化后的气体温度升高，有机物基本上转化成二氧化碳和水。净化后的气体，经过另一蓄热体，温度下降，达到排放标准后可以排放。不同蓄热体通过切换阀或者旋转装置，随时间进行转换，分别进行吸热和放热。
    其原理是把有机废气加热到760摄氏度以上，使废气中的VOC在氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热后续进入的有机废气。从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成两个（含两个）以上的区或室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入部分已处理合格的洁净排气对该蓄热室进行清扫（以保证VOC去除率在95%以上），只有待清扫完成后才能进入“蓄热”程序。

优点
●几乎可以处理所有含有机化合物的废气
● 可以处理风量大、浓度低的有机废气
●处理有机废气流量的弹性很大（名义流量20%~120%）
●可以适应有机废气中VOC的组成和浓度的变化、波动
●对废气中夹带少量灰尘、固体颗粒不敏感
●在所有热力燃烧净化法中热效率最高（>95%）
●在合适的废气浓度条件下无需添加辅助燃料而实现自供热操作
●净化效率高（三室>99%）
●维护工作量少、操作安全可靠
●有机沉淀物可周期性的清除，蓄热体可更换
●整个装置的压力损失较小
●装置使用寿命长
缺点
●装置重量大，因为采用陶瓷蓄热体
●装置体积大，只能放在室外
● 要求尽可能连续操作
● 一次性投资费用相对较高
●不能彻底净化处理含硫含氮含卤素的有机物
●产生氮氧化物和二噁英等污染物