半导体产生的废气该如何处理？全国VOCs治理日益紧迫，各省份陆续发布挥发性有机物排放限值标准。如何有效地处理化工废气已经成为环保领域亟待解决的问题。随着新材料行业的发展，全国各地新材料行业的规模也日益扩大，新材料的发展对社会起了积极的作用,然而其对生态环境的破坏也是存在的,影响最大的是有机化合物或毒性物质。

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

RTO蓄热式氧化炉原理：
原理是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。RTO主体结构由燃烧室、陶瓷填料床和切换阀等组成。

广东粤盛湖远环境科技有限公司是从事工业废气处理一站式解决方案的生产厂家，主要设备包括：催化燃烧设备一体机、活性炭吸附脱附催化燃烧、分子筛沸石吸附转轮催化燃烧、RTO蓄热式氧化炉、旋转式RTO、催化燃烧设备、RCO蓄热式催化燃烧等。设备广泛应用于印刷、化工、制药、涂料油墨、卫浴、风能、光伏、电子、玻璃、汽车配件等行业。粤盛湖远拥有11年工业废气领域服务经验，拥有技术开发、工程设计、设备成套制造和工程实施的综合能力，大中型案例多，可考察。